| 发明名称 | 激光加工装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种激光加工装置(1)。在设置有位于激光振荡部(10)中的激光化学汽相淀积用激光振荡器(11)和激光修理用激光振荡器(12)的激光加工装置(1)中，通过本体部(1000)的激光振荡器切换程序(510A)切换激光振荡器(11)或(12)而发射的激光光束通过光路形成部(30)而沿着同一缝部到达样本并进行激光加工。此外，物镜配置成通过物镜部(60)的物镜切换部(61)而切换为具有对应于从激光振荡部(10)发射的激光光束的波长的倍率的物镜。 | ||
| 申请公布号 | CN101579785A | 申请公布日期 | 2009.11.18 |
| 申请号 | CN200910139046.0 | 申请日期 | 2009.05.15 |
| 申请人 | 株式会社三丰 | 发明人 | 冈部宪嗣;田中祥一;黑川昌史 |
| 分类号 | B23K26/00(2006.01)I | 主分类号 | B23K26/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 马高平 |
| 主权项 | 1、一种通过将激光光束照射到样本来加工所述样本的激光加工装置，包括：分别发射波长彼此不同的第一激光光束和第二激光光束的第一激光振荡器和第二激光振荡器；切换所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器以发射所述第一激光光束或所述第二激光光束中任一个的切换器件；设置在光路中用于将分别从所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器发射的所述第一激光光束或所述第二激光光束中的任一个引导至所述样本的缝部，所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器被所述切换器件切换；设置成使分别从所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器发射的所述第一激光光束或所述第二激光光束穿过所述缝部的光路形成构件；和将设置在所述光路中所述缝部和所述样本之间的物镜切换为具有预定倍率的透镜的物镜切换器件，所述预定倍率对应于所述第一激光光束或所述第二激光光束的激光波长。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||