POSITIVE RESIST COMPOSITION FOR THERMAL FLOW AND METHOD OF FORMING PATTERN,申请号KR20020005842-传众专利搜索

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发明名称	POSITIVE RESIST COMPOSITION FOR THERMAL FLOW AND METHOD OF FORMING PATTERN
摘要
申请公布号	KR100864263(B1)	申请公布日期	2008.10.17
申请号	KR20020005842	申请日期	2002.02.01
申请人		发明人
分类号	G03F7/039;C08K5/00;C08L25/00;G03F7/40;H01L21/027	主分类号	G03F7/039
代理机构		代理人
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