磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元

摘要

一种磁头折片组合包括悬臂件、形成在悬臂件的挠性件的压电元件承载区域上的过渡层以及沉积在过渡层上的压电元件。所述压电元件与悬臂件电性连接，形成微致动器。本发明同时进行压电元件和悬臂件的制造、机械组装以及电性连接，因此操作过程简单，工艺时间短，磁头折片组合产率高，机械性能、动态和静态性能好。另外，本发明在挠性件上先成形一层过渡层再形成压电元件，其中过渡层为金属材料、金属氧化物、非金属材料或者无机盐，过渡层的采用使得操作控制容易，有助于提高磁头折片组合的性能。此外，压电元件与悬臂件的电性连接可通过喷溅工艺或印制工艺或电镀工艺实现，因此操作难度小，连接可靠性好。本发明公开了制造上述磁头折片组合的方法以及磁盘驱动单元。

主权项

1.一种磁头折片组合，包括：悬臂件，所述悬臂件包括挠性件，所述挠性件上设有压电元件承载区域；形成在所述压电元件承载区域上的过渡层，所述过渡层为金属材料、金属氧化物、非金属材料或者无机盐；以及沉积在所述过渡层上的压电元件，所述压电元件与所述悬臂件电性连接，形成微致动器。