| 发明名称 | 固体摄像器件制造方法和电子装置制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了固体摄像器件制造方法和电子装置制造方法，在该固体摄像器件中，在形成有光电转换部的半导体基板第一侧上的绝缘中间层中形成有信号电路，并且光从半导体基板第二侧入射至所述光电转换部。每种制造方法包括如下步骤：在光进行入射的所述第二侧上形成片上滤色器和片上微透镜；然后在光进行入射的所述第二侧上形成焊盘部的开口。由于在形成片上滤色器和片上微透镜之后才形成焊盘部的开口，因此，要成为片上滤色器和片上微透镜的有机膜能够被形成为具有基本上没有任何台阶部的基面。所以能防止所涂敷的有机膜由于台阶部而产生任何条痕，从而提供具有高可靠性且在摄像特性上没有任何变化的背侧照射型固体摄像器件和电子装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101582393A | 申请公布日期 | 2009.11.18 |
| 申请号 | CN200910137339.5 | 申请日期 | 2009.04.24 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 秋山健太郎 |
| 分类号 | H01L21/82(2006.01)I;H01L21/71(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/82(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陈桂香;武玉琴 |
| 主权项 | 1.一种固体摄像器件制造方法，在该固体摄像器件中，在形成有光电转换部的半导体基板第一侧上的绝缘中间层中形成有信号电路，并且光从半导体基板第二侧入射至所述光电转换部，所述方法包括如下步骤：在光进行入射的所述第二侧上形成片上滤色器和片上微透镜；以及在形成所述片上滤色器和所述片上微透镜之后，在光进行入射的所述第二侧上形成焊盘部的开口。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||