发明名称 |
太阳能电池硅片检测系统 |
摘要 |
本发明涉及一种检测系统,特别是一种太阳能电池硅片检测系统,其包括硅片输送装置,沿硅片输送装置依次设置上料区,用于将硅片放置在硅片输送装置上;曝光区,设有位于硅片上方的检测成像系统以及用于对硅片限位的限位机构;分拣区,用于将不同质量的硅片放到对应的收料盒中。与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明采用这种结构,只需将硅片放入上料区的上料盒,即可实现对硅片的分拣,简单、实用。 |
申请公布号 |
CN101581671A |
申请公布日期 |
2009.11.18 |
申请号 |
CN200910149174.3 |
申请日期 |
2009.06.12 |
申请人 |
3i系统公司 |
发明人 |
裴世铀;李波;杨铁成;樊思民;陈利平 |
分类号 |
G01N21/64(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;B07C5/342(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/64(2006.01)I |
代理机构 |
广州新诺专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
华 辉;周端仪 |
主权项 |
1、太阳能电池硅片检测系统,其特征在于:包括硅片输送装置,沿硅片输送装置依次设置上料区,用于将硅片放置在硅片输送装置上;曝光区,设有位于硅片上方的检测成像系统以及用于对硅片限位的限位机构;分拣区,用于将不同质量的硅片放到对应的收料盒中。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |