发明名称 STRUCTURE OF ROTOR AND ROTOR SHAFT, AND TURBO MOLECULAR PUMP HAVING THE STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP1666730(B1) 申请公布日期 2009.11.18
申请号 EP20040772365 申请日期 2004.08.27
申请人 EDWARDS JAPAN LIMITED 发明人 MAEJIMA, YASUSHI;INAYOSHI, YUTAKA;KAWANISHI, SHINJI;SAKURAI, KOU;SUDA, HIROYUKI;AKIMOTO,TAKESHI
分类号 F04D19/04;F04D29/26 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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