| 发明名称 | 基板输送方法 | ||
| 摘要 | 将多张基板承载于一台手上而输送到准确的位置。将基板(16a、16b)从输送室内搬入到处理室内时，使手(25)的第1载置部(15a)位于设于处理室的第1处理位置(8a)的正上方，将配置于第1载置部(15a)的基板(16a)抬起后，使手(25)微小移动，使第2载置部(15b)位于第2处理位置(8b)的正上方。接着，将第2载置部(15b)上的基板(16b)抬起。若从基板(16a、16b)与第1、第2处理位置(8a、8b)之间抽出手(25)，使基板(16a、16b)下降，则基板(16a、16b)准确地配置于第1、第2处理位置(8a、8b)上。若用与上述相反的顺序将基板(16a、16b)承载于手(25)上，则能够将处理室内的基板(16a、16b)准确地承载于第1、第2载置部(15a、15b)上而将其搬出。 | ||
| 申请公布号 | CN101584034A | 申请公布日期 | 2009.11.18 |
| 申请号 | CN200880001603.6 | 申请日期 | 2008.02.25 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 吾乡健二 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 朱美红 |
| 主权项 | 1.一种基板输送方法，在输送机器人的手处设置第1、第2载置部，并将基板分别配置在上述第1、第2载置部上，使上述手移动至处理室内，并将上述基板配置于被设定在上述处理室内的第1、第2处理位置，其特征在于，在使上述第1载置部位于上述第1处理位置上，并将被配置于上述第1载置部的上述基板抬起的状态下，使上述手移动，使上述第2载置部位于上述第2处理位置上。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||