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经营范围
发明名称
离子枪
摘要
本发明提供一种离子枪,其包括一真空容器、一阳极和一阴极装置,真空容器上设置有电子注入孔、离子出射孔及气体入口,该阳极位于真空容器内部,该阴极装置位于电子注入孔处,所述阴极装置为场发射冷阴极装置。该离子枪具有发射电子稳定、结构简单的特点。
申请公布号
CN100561634C
申请公布日期
2009.11.18
申请号
CN200510100604.4
申请日期
2005.10.24
申请人
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
发明人
潜力;齐京;唐洁;刘亮;胡昭复;陈丕瑾;范守善
分类号
H01J3/04(2006.01)I
主分类号
H01J3/04(2006.01)I
代理机构
代理人
主权项
1.一种离子枪,其包括一真空容器、一阳极和一阴极装置,该真空容器上设置有电子注入孔、离子出射孔及气体入口,该阳极位于真空容器内部,该阴极装置位于电子注入孔处,其特征在于:所述阴极装置为场发射冷阴极装置,所述阳极与所述真空容器同轴设置,所述电子注入孔位于所述真空容器轴线的一侧。
地址
100084北京市海淀区清华大学物理系
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