涂敷装置和方法

摘要

本发明提供一种涂敷装置。该涂敷装置具备驱动部(12)，使基板保持部(11)绕铅直轴旋转，以使供给到基板(W)的表面部的涂敷液借助离心力扩散到基板的表面周缘部。另外，该装置具备振颤抑制机构(50)，该振颤抑制机构(50)具有分别以与基板的背面相对置的方式设置的排出口(50a)和抽吸口(50b)，通过从排出口排出气体并且向抽吸口抽吸气体，来抑制旋转过程中的基板的振颤。

主权项

1.一种涂敷装置，具备：基板保持部，将基板保持为水平；涂敷液供给机构，将涂敷液供给到保持在上述基板保持部上的上述基板的表面中央部；驱动部，使上述基板保持部绕铅直轴旋转，以使供给到上述基板的表面中央部的上述涂敷液借助离心力向上述基板的表面周缘部扩散；和振动抑制机构，具有分别以与上述基板的背面相对置的方式设置的排出口和抽吸口，通过从上述排出口排出气体并且向上述抽吸口抽吸上述气体，抑制旋转过程中的上述基板的振动。