| 摘要 |
本发明系有关于一种干涉仪装置的系统误差校正方法，分析性地求出由干涉仪装置的系统误差引起的系统固有的散光像差成分和彗形像差成分，而使被检透镜的波前像差的测定结果得以校正。将被检透镜(5)相对于测定光轴(C)保持在相互隔离90度的二个旋转位置而分别进行测定，将所得到的第一及第二像差函数分类为对应于赛德像差的各像差函数，将其中与散光像差对应的第一及第二散光像差函数求出。将第一散光像差函数和第二散光像差函数相加的函数再分类为对应于赛德像差的各像差函数，将其中与散光像差对应的第三散光像差函数求出，基于该第三散光像差函数的二分之一所对应的系统固有的像差函数而求出系统固有的散光像差成分。 |
