探针装置和接触位置的修正方法

摘要

本发明提供一种即使在检查时界面部分出现变形也能够将载置台的现在的过驱动量修正为本来需要的规定的过驱动量的探针装置。本发明的探针装置(10)包括载置台(11)、探测卡(13)、头板(15)以及控制装置(16)，该装置在测试头(18)与探测卡(13)电连接的状态下，使载置台(11)过驱动并使半导体晶片(W)和多个探测卡(13A)电接触，进行电特性检查。在测试头(18)上设置测定载置台(11)的现在的过驱动量的距离测定器(19)，控制装置(16)对由距离测定器(19)测定的现在的过驱动量和预先设定的规定的过驱动量进行比较，基于该比较结果将现在的过驱动量修正为规定的过驱动量。

主权项

1.一种探针装置，其特征在于，包括：保持被检查体的能够移动的载置台；具有配置在所述载置台上方且接触所述被检查体的电极的多个探针的探测卡；支承所述探测卡的支承体；和控制包括所述载置台的各种机器的控制装置，在使测试头以规定负载与所述探测卡电连接的状态下，使所述载置台过驱动，使所述被检查体和所述多个探针电接触，基于来自测试器的信号进行电特性检查，在所述测试头的至少一处或所述探测卡的至少一处设置测定所述载置台的现在的过驱动量的距离测定器，所述控制装置比较所述现在的过驱动量和预先设定的规定的过驱动量，基于该比较结果将所述现在的过驱动量修正为所述规定的过驱动量。