| 摘要 |
提供一种用于电子组件检验装置之配线基板供同时且准确地检验，例如，形成在Si晶圆表面上之复数个电子组件的电气特征。用于电子组件检验装置之配线基板K包含由复数个堆叠陶瓷层s1至s8所组成且具有前表面2及背表面3之基板体1；以及形成在该基板体1之该前表面2上的前表面端点电极f。自上方看来，诸单元检验图案a1系有规律地配置在垂直与水平方向上，使得该等单元检验图案a1之形心g与通过该等单元检验图案a1之形心g之垂直虚线L1至L3与水平虚线N1至N4之间的交替交叉点j吻合，其中该等个别之单元检验图案a1由复数个该等前表面端点电极f构成，其系配置成对应于待检验之单一电子组件的复数个端点电极m。 |
