半导体清洁装置及光罩清洁装置与方法

摘要

本发明主要提供一种半导体清洁装置及光罩清洁装置与方法，特别是一种用于半导体制程中自半导体及光罩表面去除污染物质的装置。该清洁装置包含：一喷嘴用以传送流体至该半导体及光罩；一进流体装置与该喷嘴结合，该进流体装置包含复数个进流体口，该些进流体口系交错设置，藉此将流体从该些进流体口输入，经过该进流体装置从该喷嘴喷出，送至该半导体及光罩上以清洁该半导体及光罩表面。