| 发明名称 | 用于产生等离子的电源供应器及包括其的等离子设备 | ||
| 摘要 | 一种电源供应器，其包括：一个产生射频功率的电源；一个连接到所述电源且匹配所述电源的内阻抗和负载阻抗的阻抗匹配箱；一条连接到所述阻抗匹配箱的第一馈线；一个连接到所述第一馈线的射频分布构件(radiofrequency distributing means)；和一个连接到所述射频分布构件的等离子电极，所述射频分布构件向复数个等离子电极点供应射频功率。 | ||
| 申请公布号 | CN100562209C | 申请公布日期 | 2009.11.18 |
| 申请号 | CN200510007268.9 | 申请日期 | 2005.02.06 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 李郑凡 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;H01J17/49(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方;刘国伟 |
| 主权项 | 1.一种电源供应器，其包括：一个产生一射频功率的电源；一个连接到所述电源且匹配所述电源的一内阻抗和一负载阻抗的阻抗匹配箱；一条连接到所述阻抗匹配箱的第一馈线；一个连接到所述第一馈线的射频分布构件；和一个连接到所述射频分布构件的等离子电极，所述射频分布构件向所述等离子电极供应所述射频功率，其中所述射频分布构件包括：一个呈盘状的分布部件，所述第一馈线连接到所述分布部件的一中心部分；和复数条第二馈线，其连接到所述分布部件和所述等离子电极。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||