发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN FÜR ELEKTRO-CHEMISCH- MECHANISCHES POLIEREN
摘要
申请公布号 AT448049(T) 申请公布日期 2009.11.15
申请号 AT20050723147T 申请日期 2005.02.14
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 LEE, WHONCHEE
分类号 B23H5/08;B24B37/04;C25D5/22;H01L21/288;H01L21/768 主分类号 B23H5/08
代理机构 代理人
主权项
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