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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN FÜR ELEKTRO-CHEMISCH- MECHANISCHES POLIEREN
摘要
申请公布号
AT448049(T)
申请公布日期
2009.11.15
申请号
AT20050723147T
申请日期
2005.02.14
申请人
MICRON TECHNOLOGY, INC.
发明人
LEE, WHONCHEE
分类号
B23H5/08;B24B37/04;C25D5/22;H01L21/288;H01L21/768
主分类号
B23H5/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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