VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VERTIKALER NANO- TRANSISTOREN,申请号AT20040762681T-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VERTIKALER NANO- TRANSISTOREN
摘要
申请公布号	AT448568(T)	申请公布日期	2009.11.15
申请号	AT20040762681T	申请日期	2004.08.16
申请人	HELMHOLTZ-ZENTRUM BERLIN FUER MATERIALIEN UND ENERGIE GMBH	发明人	CHEN, JIE;LUX-STEINER, MARTHA
分类号	H01L29/786;H01L21/336;H01L29/24	主分类号	H01L29/786
代理机构		代理人
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