| 摘要 |
<p>【課題】構成部材の削減及び流路の簡素化を図ると共に、処理液のゲル化を抑制することによりパーティクルの発生を抑制し、歩留まりの向上が図れる液処理供給ポンプを提供する。【解決手段】２つの可撓性を有する略円錐形状半体の底部同士を接合した伸縮自在なダイヤフラム体２の一方の頂部と、ダイヤフラム体内に気体の供給・吸引を行う駆動装置１９とを駆動管５で接続し、駆動管を接続したダイヤフラム体を内包し、ダイヤフラム体の伸縮変形に伴ってダイヤフラム体との間に可変空間を形成するポンプ室３を設ける。中間膨張部とポンプ室の内部壁面に、ダイヤフラム体が膨張した際に、中間膨張部の拡径面２ａが密接してポンプ室を２室に区画する区画部２３を設ける。ポンプ室の駆動管と対向する位置に、処理液吸引管４を接続し、ポンプ室の処理液吸引管と対向する位置に、ノズル１０に接続され開閉バルブ９を介設した処理液吐出管８を接続する。【選択図】図１</p> |
