真空ポンプ

摘要

【課題】１ｌ〜３ｌの真空容器内を１．３ｋｐａ程度に減圧する真空ポンプを提供する。【解決手段】真空容器に付設させる空圧式エゼクタポンプと、真空容器とホースで接続するサクションシリンダと、サクションシリンダを作動させる空圧シリンダで構成する。真空容器を空圧式エゼクタポンプ減圧し、その減圧された空気をサクションシリンダが吸い込んで、真空容器の圧力をより一層低くする。【選択図】図１