摘要 |
잉곳 제조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도가니의 상부에 다결정 탄화규소 성장을 억제할 수 있으며, 종자정에 가해지는 열응력을 감소시키고 종자정 배면이 열분해로 손실되는 것을 방지할 수 있는 잉곳 제조 장치에 관하여 개시한다. 본 발명은 잉곳 결정성장을 위한 원료가 장입되는 도가니를 포함하는 잉곳 제조 장치에 있어서, 상기 도가니는 상기 도가니 상부에 가이드 부재와 결합되는 상부몸체와, 상기 상부몸체에 형성된 거치단 및 상기 상부몸체와 밀착되어 접촉되는 튜브 형상의 가이드 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 제조 장치를 제공한다. |