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发明名称 N FÜR DIE FORTGESCHRITTENE MIKROLITHOGRAPHIE
摘要
申请公布号 DE60233897(D1) 申请公布日期 2009.11.12
申请号 DE2002633897 申请日期 2002.12.13
申请人 BREWER SCIENCE INC. 发明人 DESHPANDE, SHREERAM V.
分类号 G03C1/76;C08F8/14;C08F24/00;C08F34/02;C08G59/14;C08G59/32;C08G59/42;C08G59/62;C08G63/68;C08G63/91;C08G65/329;C09D133/02;C09D163/00;C09D167/00;C09D171/02;C09D201/02;G03F7/00;G03F7/09 主分类号 G03C1/76
代理机构 代理人
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