发明名称 CONTINUOUS DIFFUSION APPARATUS
摘要 본 발명은, 피처리물의 확산 처리를 연속적으로 행할 수 있는 구성이면서, 피처리물의 크기와는 관계가 없는 요인에 의해 가열로가 대형화되는 것을 방지하는 것이 가능하게 되는 연속 확산 처리 장치를 제공한다. 이러한 연속 확산 처리 장치는, 복수매의 판형상의 피처리물을 싣는 반송대(50)와, 직선형으로 연장되는 통형상의 가열로(1)와, 가열로(1) 안으로 반송대(50)를 순차적으로 반입하고, 가열로(1) 내에 반송된 반송대(50)를 순차적으로 반출하는 반송 장치(2)와, 반송대(50)에 실은 피처리물을 가열하는 가열 장치(3)와, 가열로(1) 내에 확산 처리를 위한 가스를 공급하는 가스 공급 장치(41)를 구비하고 있다. 반송 장치(2)는, 반입부(11)의 상류측에 위치하는 반송대(50)를 밀어서 이 반송대(50)를 가열로(1) 안으로 반입하고, 반입된 반송대(50)에 의해, 먼저 반입되어 있는 반송대(50)를 반출부(12)측으로 밀어 가열로(1) 안에서 열을 지어 반송한다.
申请公布号 KR101644662(B1) 申请公布日期 2016.08.01
申请号 KR20110007801 申请日期 2011.01.26
申请人 고요 써모시스템 주식회사 发明人 모리카와 기요히코;가사나미 가츠히사;니시무라 게이스케;아시다 시노부
分类号 H01L21/22;H01L21/67;H01L21/677 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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