| 摘要 |
<p>Gezeigt wird eine Vorrichtung zum Ein -oder Auspacken von stapelbaren Gegenständen, wie Wafern, insbesondere Siliziumwafern, in oder aus Transportbehältern, oder zum Sortieren von stapelbaren Gegenständen, wie Wafern, insbesondere Siliziumwafern, in Transportbehältern, wobei mehrere Magazine (1-6) vorgesehen sind, die jeweils Verpackungsmaterial oder Transportbehälter aufnehmen können, und wobei ein Roboter vorgesehen ist, der stapelbare Gegenstände aus Transportbehältern entnehmen oder in Transportbehälter einlegen kann. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Magazine (1-6) um eine gemeinsame waagrechte Achse drehbar und in der gleichen senkrechten Ebene angeordnet sind. Dadurch kann eine Vorrichtung zur Verfügung gestellt werden, die weniger Platz, insbesondere in Reinraumatmosphäre, benötigt.</p> |
