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发明名称 MULTILAYER REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT FOR EUV LITHOGRAPHY DEVICES COMPRISING FIRST AND SECOND ADDITIONAL INTERMEDIATE LAYERS
摘要
申请公布号 EP2115751(A1) 申请公布日期 2009.11.11
申请号 EP20080715682 申请日期 2008.02.02
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 YAKSHIN, ANDREY, E.;VAN DE KRUIJS, ROBBERT, W., E.;BIJKERK, FRED;LOUIS, ERIC;NEDELCU, ILEANA
分类号 G21K1/06 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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