蒸发装置、蒸镀装置以及蒸镀装置中的蒸发装置的切换方法

摘要

一种在规定的真空度下使规定的材料蒸发的蒸发装置(4)，包括：连接到真空泵(12)上，同时，在上壁部(11c)上设置能够放出蒸发的蒸发材料(B)的材料放出孔的蒸发用容器(11)；借助升降用气缸装置(13)可以在该蒸发容器(11)内自由升降地设置、同时能够载置容纳蒸镀材料(A)的材料容纳容器(14)的载置台(15)；在上述蒸发用容器(14)的材料放出孔(17)的周围，设置筒状的间隔壁构件(19)，所述间隔壁构件(19)，通过上述材料容纳容器(14)经由载置台(15)上升时覆盖其外周，抑制蒸发材料向所述蒸发用容器(11)内放出，并且，在上述载置台(15)及间隔壁构件(16)上，具有加热上述材料容纳容器(14)的加热装置(21)。

主权项

1.一种蒸发装置，用于在规定的真空度下使作为规定材料的蒸镀材料蒸发，其特征在于，所述蒸发装置配备有：蒸发用容器，该蒸发用容器连接到排气装置上，同时在上部设置有能够将由上述规定材料蒸发而成的蒸发材料排出的材料排出孔；载置台，该载置台借助升降装置在所述蒸发用容器内自由升降地设置，同时能够载置容纳了蒸镀材料的材料容纳容器；在上述蒸发用容器的材料排出孔的周围设置筒状的间隔壁构件，所述间隔壁构件通过在上述材料容纳容器经由载置台上升时覆盖其外周，抑制蒸发材料向所述蒸发用容器内的排出，在上述载置台及间隔壁构件中具有加热上述材料容纳容器的加热装置，在上述载置台侧设置接触部，所述接触部在所述载置台借助升降装置上升时与间隔壁构件的下端部接触，能够阻止所述间隔壁构件内的蒸发材料的排出，在加热蒸镀材料的情况下，使所述载置台上升，使接触部接触间隔壁构件的下端部，阻止所述间隔壁构件内的蒸发材料的排出，同时，在于蒸镀材料的加热时去除杂质的情况下，使所述载置台下降，使间隔壁构件的下端部从接触部分离开。