发明名称
摘要
申请公布号 JP4361614(B2) 申请公布日期 2009.11.11
申请号 JP19950274511 申请日期 1995.10.23
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H01L21/205;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/687 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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