中空式阴极放电装置

摘要

一种中空式阴极放电装置，其包括中空阳极电极、绝缘固定于该中空阳极电极中的中空阴极电极、及固定于该中空阴极电极中的气体分配管，该中空阳极电极及中空阴极电极分别具有相对应的阳极开孔与阴极开孔，而该气体分配管与该中空阴极电极之间围成一沿其轴向绕经各该阴极开孔的螺旋通道，以通过该螺旋通道形成多个连续且相连通的反应腔室，并设有连通以供导入反应气体至各该反应腔室的气体分流孔。通过彼此相连通的反应腔室使反应气体获得均匀分布有利于装置轴向长度增长的大尺寸化(Scale up)应用，克服现有技术的缺点。

主权项

1一种中空式阴极放电装置，其特征在于，包括：中空阳极电极，具有第一腔室、及连通该第一腔室的多个阳极开孔；中空阴极电极，其与该中空阳极电极保持绝缘地固定于该第一腔室中，且具有第二腔室、及连通该第二腔室并对应于各该阳极开孔的多个阴极开孔；以及气体分配管，固定于该第二腔室中并连通至中空阳极电极外部以供导入反应气体，且与该中空阴极电极之间围成一沿其轴向绕经各该阴极开孔的螺旋通道，以通过该螺旋通道形成多个连续且相连通的反应腔室，并设有连通以供导入反应气体至各该反应腔室的气体分流孔。