マイクロストラクチャ向上型吸収感光装置

摘要

【課題】 マイクロストラクチャを使用して半導体内のフォトンの吸収を向上させる技術が記載される。【解決手段】 該マイクロストラクチャは柱体及び／又は穴等であって、実効的に実効吸収長を増加させてその結果フォトンの吸収を一層大きくしている。シリコンフォトダイオード及びシリコンアバランシェフォトダイオードに対する吸収向上のためにマイクロストラクチャを使用することは、約９０％以上の量子効率で、且つ８５０ｎｍの波長を有するフォトンにおいて１０Ｇｂ／ｓを越える帯域幅とさせる。【選択図】 図１