光罩清洗装置

摘要

本发明为有关一种光罩清洗装置，主要系利用夹持块与弹性缓冲夹持元件夹持光罩，藉此降低夹持块对光罩之冲击力，且可紧密夹持光罩而不会产生缝隙，并透过清洗装置对光罩进行清洗，而光罩清洗后再利用风乾装置将光罩吹乾，俾当光罩欲进行清洗时，仅需利用夹持块夹持光罩即可进行清洗，且夹持块不会因缺乏电力而松脱光罩造成其破损，再者，利用夹持块夹持光罩进行清洗之方式，不但可解决用需去除光罩护膜之缺失，且可避免因多次清洗造成光罩图案上的缺陷与光罩的报废，藉此将光罩上之微粒污染物去除乾净，并可延长光罩的使用寿命，以达到降低光罩报废成本之目的。

主权项

一种光罩清洗装置，包含有：一箱体，可操作式地呈开启及密闭状态；一工作平台，设于该箱体内部，其上预设有复数个工作站；一顶推装置，用以定位光罩，并可操作式地将光罩推顶至欲夹持位置与准备位置；一位移机构，设置于该工作平台之一枢纽位置处，该位移机构至少设有一枢接之悬臂，悬臂之远端连接有一夹持装置，用以夹持欲夹持位置之光罩，使光罩依预设之轨迹往来移动于该复数个工作站中；至少一清洗装置，设置于该复数个工作站之一，具有复数个出水孔、回水孔及擦拭元件，用以对于移动至该工作站之光罩提供污染物之清洁功能；至少一风乾装置，设置于该复数个工作站之一，具有复数个乾净气体吹出孔，用以对于移动至该工作站之光罩提供风乾功能；以及一气体循环装置，设于该箱体内、工作平台上方，系提供乾净气体进入，用以交换箱体内因光罩清洗产生之污染气体。