基板处理方法、控制程式、及电脑可读取之记忆媒体

摘要

本发明系提供一种基板处理方法，系具有以下之步骤：蚀刻处理形成于基板上的被蚀刻膜，而形成特定图案；将结束蚀刻处理之后所残存的物质可溶化于特定的液体而变性；而后，矽烷基化处理形成有图案的被蚀刻膜的表面；以及，然后供给特定的液体，而溶解除去已变性的物质。

主权项

一种基板处理方法，系具有以下之步骤：蚀刻处理形成于基板上的被蚀刻膜，而形成特定图案；使结束前述蚀刻处理之后残存的物质变性为可溶化于特定的液体；而后，矽烷基化处理形成有图案的被蚀刻膜的表面；然后，供给前述特定的液体，溶解除去前述已变性的物质。