摘要 |
【課題】気液分離構造を有するベイパーチャンバーを提供する。【解決手段】少なくとも一つの第一プレート11、第二プレート12、複数のスペーサ13、少なくとも一つの第一毛細管材14および作業液体を備える。第一プレート11と第二プレート12とは合わさり、少なくとも一つの格納空間121を形成する。格納空間121は第一プレート11と第二プレート12との間に密閉される。複数のスペーサ13は第一プレート11と第二プレート12との間に当接し、かつ格納空間121内に間隔を置いて配列することで複数の気体通路141および少なくとも一つの液体通路を構成し、格納空間121を加熱エリアHおよび冷却エリアCに分割する。複数の気体通路141および少なくとも一つの液体通路は加熱エリアHおよび冷却エリアCにおいて相互に繋がる。第一毛細管材14は一部分が液体通路に配置され、ほかの部分が加熱エリアHおよび冷却エリアCに配置される。【選択図】図1 |