| 发明名称 |
电离规 |
| 摘要 |
一种电离规，该电离规包括阴极、栅极和离子收集极，该栅极设置于该阴极与该离子收集极之间，阴极、栅极和离子收集极间隔绝缘设置，其中，所述栅极包括一碳纳米管结构。该电离规用于测量真空环境的真空度。 |
| 申请公布号 |
CN101576423A |
申请公布日期 |
2009.11.11 |
| 申请号 |
CN200810066962.1 |
申请日期 |
2008.05.07 |
| 申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
肖林;刘亮;姜开利;范守善 |
| 分类号 |
G01L21/30(2006.01)I;G01L21/32(2006.01)I;G01L21/34(2006.01)I |
主分类号 |
G01L21/30(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种电离规，包括阴极，栅极和离子收集极，该栅极设置于阴极与离子收集极之间，阴极，栅极和离子收集极分别间隔绝缘设置，其特征在于，所述栅极包括一碳纳米管结构。 |
| 地址 |
100084北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |
