防护薄膜组件收纳容器及其制造方法

摘要

本发明的目的在提供一种光微影用防护薄膜组件收纳容器，其在保管、输送、操作中能防止所收纳的防护薄膜组件污损并维持品质。本发明之防护薄膜组件收纳容器，系由载置防护薄膜组件的容器本体，以及覆盖、保护防护薄膜组件且与容器本体彼此在周缘部嵌合卡止的盖体所构成，其特征为：预先设计制作成凸出形状，使盖体不会因为本身重量而弯曲附着于防护薄膜上。

主权项

一种防护薄膜组件收纳容器，系由用来载置防护薄膜组件的容器本体，以及，收纳该防护薄膜组件且与该容器本体彼此在周缘部密合的盖体所构成，其特征为：盖体中央部在密合状态中维持平坦状或是向外凸出形状。