发明名称 |
集成电路元件的封装结构及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种集成电路元件的封装结构及其制造方法。本发明的方法包含提供一晶片,该晶片具多个集成电路元件;提供一可延伸载板,其具有承载该晶片的一第一面;形成多个抗延伸层于该可延伸载板上的一第二面上,该第二面相对于(opposite)该第一面;形成多个沟槽于该晶片使该集成电路元件相互隔离;拉伸该可延伸载板以扩大该多个沟槽;及形成一绝缘层以填充该多个沟槽并覆盖该多个集成电路元件。 |
申请公布号 |
CN101577233A |
申请公布日期 |
2009.11.11 |
申请号 |
CN200810095363.2 |
申请日期 |
2008.05.05 |
申请人 |
相丰科技股份有限公司 |
发明人 |
黄禄珍 |
分类号 |
H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L23/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1、一种封装集成电路元件的方法,包含:提供一晶片,该晶片具多个集成电路元件;提供一可延伸载板,具有一第一面及相对于该第一面的一第二面,该第一面承载该晶片;形成多个抗延伸层于该第二面上;形成多个沟槽于该晶片,使该集成电路元件相互隔离;拉伸该可延伸载板以扩大该多个沟槽;及形成一绝缘层以填充该多个沟槽并覆盖该多个集成电路元件。 |
地址 |
中国台湾台北县 |