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发明名称
摘要
申请公布号 JP4362880(B2) 申请公布日期 2009.11.11
申请号 JP19980315484 申请日期 1998.11.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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