一种微观成像系统的标定方法

摘要

本发明涉及微观领域光学系统畸变矫正技术，具体做法是通过对CCD相机成像系统进行微观视场(亚微米量级)的标定来实现的。现有的各种相机标定方法需要制备高精度的标准系统定标模版，但是一般情况下这种模版成本高，对材料本身的特性要求也高，且用于小视场的标定模版的制作精度要求更高，成本则更高。本发明采用了一种灵活的“制版”技术，在晶圆上制作一个定位标记，将晶圆置于高精准的平台上，并对平台的移动进行精确控制，形成一个亚微米级的活动标定模版。通过对CCD视场进行图像采集，配合适当的标定算法，实现成像系统的标定。

主权项

1、一种微观成像系统的标定方法，其特征在于包括以下步骤：(1)准备二维的精密移动平台，精密移动平台上设有可调整高度的垫片，在精密移动平台外设有CCD相机；(2)在晶圆上制作特定的定位标记，所述定位标记即为图像中进行信息提取的参考点，再将晶圆置于二维精密移动平台的垫片上；(3)调节精密移动平台，将定位标记调到CCD相机视场内的一个特定位置，同时测量定位标记所对应的空间物理坐标；(4)使用CCD相机对视场内的定位标记进行图像采集，得到对应此时位置坐标的定位标记图像；(5)保持CCD相机固定不动，控制精密移动平台做二维移动，使得定位标记移动到CCD相机视场内下一个特定的位置，然后重复步骤(3)和(4)n次；(6)利用第(5)步采集的n幅定位标记图像，得到对应CCD相机视场内n个定位标记位置的空间物理坐标和相应的定位标记图像坐标，相当于得到一幅完整的包含n个定位标记的图像；(7)调节晶圆下面的垫片高度，改变晶圆面和CCD相机之间的角度，重复步骤(3)、(4)、(5)和(6)m次，得到m幅不同角度的图像；(8)利用步骤(7)所得到的m幅不同角度的含有n个定位标记的图像信息，采用相机标定的方法，利用定位标记的空间物理坐标和其对应的定位标记图像坐标，求解得到成像系统的内外方位元素，进而得到定位标记在CCD相机采集的图像中位置和其对应的真实的物理位置，完成光学系统内外方位参数的确定和系统畸变的矫正。