集成基材移动模块的电子束测试系统

摘要

本发明提供电子束测试基材的方法及集成系统。在一个方案中，该集成系统包含一传送室，该传送室具有一基材工作台配置其中。该基材工作台可以在测试室中于水平及垂直方向移动基材。该基材工作台包括：第一平台，可以在第一维度移动；第二平台，可以在第二维度移动；以及第三平台，可以在第三维度移动。每一平台都可以独立地在各自维度移动。该系统也包括：负载锁定室，配置于邻接测试室的第一侧面；以及探测器储存组件，配置于测试室的下方。探测器堆积组件被配置于邻接测试室的第二侧面，且被安排在探测器储存组件与测试室之间传送一个或更多的探测器。而且，在测试室上表面配置有一或更多的电子束测试装置。

主权项

1.一种集成测试系统，其至少包含：测试室，配置有基材工作台，基材工作台在测试室中于水平及垂直方向移动基材，基材工作台包含：第一平台，在第一维度移动；第二平台，在第二维度移动；第三平台，在第三维度移动，其中每一平台都独立地在各自维度移动；负载锁定室，配置于邻接测试室的第一侧面；以及末端受动器，位于测试室的内部，且适合在负载锁定室与测试室之间传送基材。