一种多功能奈米探针介面结构及制作方法

摘要

一种新颖多功能奈米探针介面，以应用于各式神经组织刺激及侦测。此奈米探针介面结构包括包覆薄绝缘层的奈米碳管、微电极基座阵列、及感测与刺激神经细胞之控制晶片。微电极基座阵列具有导线连接奈米碳管与控制晶片，及微流通道以供给维持神经组织健康之养分及药剂。奈米碳管则配置于矽微电极基座阵列，并包覆薄绝缘层于外壁，做为刺激与纪录神经组织的奈米探针。

主权项

一种奈米探针介面结构，包括：一神经细胞感测与刺激之控制晶片；一微流通道之微电极基座阵列，该微流通道之微电极基座阵列中具有一微流通道及一导电内连线；一奈米碳管，配置于微流通道之微电极基座阵列中之导电内连线上，且该奈米碳管为金属性单壁奈米碳管、单壁奈米碳管束、双壁奈米碳管、多壁奈米碳管，单根、多根或奈米碳管矩阵；一薄绝缘层，包覆于该奈米碳管外壁。