基板输送装置

摘要

本创作系一种基板输送装置，其包括有一蚀刻槽、横向且间隔排列于该蚀刻槽间的复数根输送轮轴，以及纵向跨设各输送轮轴上的至少一抬昇组件，利用该抬昇组件垫高基板处之设计，当蚀刻液喷洒于基板上后，便会顺着基板朝两侧流泄，不会蓄积于该基板上，因此可有效避免基板之电路遭蚀刻液过蚀而造成瑕疵，达到提高该基板良率的目的。

主权项

一种基板输送装置，其包括有一蚀刻槽、复数根输送轮轴及至少一抬昇组件，其中：输送轮轴横向且间隔排列地枢设于该蚀刻槽之两相对壁面之间，且可受动力驱动，每一输送轮轴上靠近两端处分别固设有一输送轮；抬昇组件纵向跨设各输送轮轴之中段处，每一抬昇组件包含有一枢接座及至少一滚轮，该枢接座顶面设有两相对侧壁，该滚轮枢设于该侧壁之间，且分别位于枢接座之两两相邻的凹槽之间，枢接座底部间隔内凹成型有复数个凹槽，该凹槽对应设置于该输送轮轴上。