双路光干涉的精密光微机电陀螺仪

摘要

本发明提出一种双路光干涉的精密光微机电陀螺仪，其光源经光隔离器后的输出尾纤和第一Y型光耦合器的入纤熔接，第一Y型光耦合器对该束光进行3DB分光后从两根出纤输出，两根出纤各与A路、B路Y型光耦合器的一根光纤熔接，出纤端固定在基底结构上，并分列于矩形振梁Y轴的两个对称面前，光纤另一端分别与各自的光电探测器相连，光电探测器用于探测干涉条纹，光电探测器信号输出端与检测与控制系统的信号输入端连接，经过数据采集处理即可得到振梁的微小位移；同时检测与控制电路系统与矩形振梁X轴的驱动压电片的输出连接，控制和检测矩形振梁X轴的运动。本陀螺仪通过双路光干涉形成差分信号，随温度变化小、能大大提高检测灵敏度，精度高、噪声低，体积小，造价低。

主权项

1、双路光干涉的精密光微机电陀螺仪，它包括矩形振梁、固定有矩形振梁的基底结构和安装在矩形振梁X轴上的驱动压电片；其特征在于：它还包括光源、光纤、光隔离器、Y型光耦合器、相位调节器、光电探测器和检测与控制系统；采用双路光干涉的方式，所述光源经光隔离器后的输出尾纤和第一Y型光耦合器的入纤熔接，第一Y型光耦合器对该束光进行3DB分光后从两根出纤输出，两根出纤各与A路、B路Y型光耦合器的一根光纤熔接；A路和B路Y型光耦合器的出纤端固定在基底结构上，并分列于矩形振梁Y轴的两个对称面旁，A路和B路Y型光耦合器的光纤另一端分别与各自的光电探测器相连，光电探测器用于探测干涉条纹，该干涉条纹因振梁上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光具有不同光程，再经Y型光耦合器汇合产生干涉而形成，光电探测器信号输出端与检测与控制系统的信号输入端连接，经过数据采集处理即可得到振梁的微小位移；同时检测与控制电路系统与矩形振梁X轴的驱动压电片的输出连接，控制和检测矩形振梁X轴的运动。