结合装置、曝光装置、器件制造方法

摘要

本发明涉及结合装置、曝光装置、器件制造方法。该曝光装置用液体充满投影光学系统和基板之间，并通过所述投影光学系统和所述液体把图案像投影到所述基板上来对所述基板进行曝光，所述投影光学系统包含具有与所述液体接触的光学构件的第一群以及与该第一群不同的第二群，第一群支撑在第一支撑构件上，所述第二群分离地支撑在与所述第一支撑构件不同的第二支撑构件上。

主权项

1.一种曝光装置，用液体充满投影光学系统和基板之间，在所述基板上的一部分上形成液浸区，从而通过所述投影光学系统和所述液体把图案像投影到所述基板上来对所述基板进行曝光，其中：所述投影光学系统包括具有与所述液体接触的光学构件的第一群以及与所述第一群不同的第二群；通过使所述第一群移动的驱动机构来进行所述第一群相对于所述第二群的位置调整。