电扫描器装置以及具有电扫描器装置的激光加工装置

摘要

本发明的目的是提供能够高速而且高精度地定位使激光等光束反射的反射镜的电扫描器装置以及具有电扫描器装置的激光加工装置。一种电扫描器装置，具有：在转动轴(5)上支持的反射镜(2)；由在转动轴(5)上支持的编码器板(7)和在框架(12b)上固定的传感器头(8)组成的角度检测单元；和使用通过角度检测单元检测的角度检测值(14)使反射镜(2)跟踪角度目标值的伺服控制装置，其中，在反射镜(2)上设置检测反射镜(2)的变形量的应变传感器(10)，根据应变传感器(10)的输出信号(20)和角度检测单元的输出信号(14)定位反射镜(2)。

主权项

1.一种电扫描器装置，具有：由转动轴支持的反射镜；检测所述转动轴的转动角度的角度检测单元；和使用通过所述角度检测单元检测到的角度检测值使所述反射镜跟踪角度目标值的伺服控制单元，其特征在于，具有检测所述反射镜的变形量的变形量检测单元，所述伺服控制单元根据通过所述角度检测单元检测到的角度检测值、和通过所述变形量检测单元检测到的变形量对所述反射镜进行定位。