| 发明名称 | 检测键合质量的红外透视成像装置及调节方法 | ||
| 摘要 | 本发明一种检测键合质量的红外透视成像装置，其特征在于，包括如下几个部分：一灯箱，该灯箱为黑色，该灯箱前端开有一出光孔；一导轨，该导轨位于灯箱上的出光孔的前端，在该导轨上依次排列有第一凸透镜、小孔光阑、第二凸透镜、样品架及红外摄像头；一监视器，该监视器通过数据线与红外摄像头连接。 | ||
| 申请公布号 | CN100559171C | 申请公布日期 | 2009.11.11 |
| 申请号 | CN200610114407.2 | 申请日期 | 2006.11.09 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 何国荣;郑婉华;杨国华;石岩;渠红伟;宋国锋;陈良惠 |
| 分类号 | G01N21/956(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/956(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1、一种检测键合质量的红外透视成像装置，其特征在于，包括如下几个部分：一灯箱，该灯箱为黑色，该灯箱包括一光源，该光源为白炽灯，该灯箱包括一喇叭状灯罩，该灯箱前端开有一出光孔；一导轨，该导轨位于灯箱上的出光孔的前端，在该导轨上依次排列有第一凸透镜、通光孔的孔径为1-2mm的小孔光阑、第二凸透镜、样品架及红外摄像头；一监视器，该监视器通过数据线与红外摄像头连接。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||