一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法，本发明微驱动结构包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、驱动输出端；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁。本发明不但可以通过梳齿型可动电极与固定电极之间的作用，实现共面X轴方向的移动，而且可以通过可动电极和固定电极的相互作用，实现驱动输出端的离面扭转运动。本发明工艺过程简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统。

主权项

1、一种实现共面和离面运动的微驱动结构，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底和驱动输出端；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁，所述折叠横梁的刚度较大，所述组合扭转梁的刚度较小，所述折叠横梁包括通过短梁连接所述两梳齿式可动电极的通梁，通过锚点悬浮固定在所述玻璃衬底上的折叠梁；所述组合扭转梁包括多个支梁，其中两所述支梁各有一端连接所述折叠横梁，各有另一端连接相应的平板式可动电极的外侧；另两所述支梁各有一端连接相应的平板式可动电极的内侧，各有另一端连接驱动输出端的尾部，再两所述支梁各有一端连接所述折叠横梁，各有另一端连接所述驱动输出端的尾部。