探针接脚及探针接脚之制造方法

摘要

本发明系确保具有高度之探针接脚较高的尺寸精度与生产性。本发明中，于探针接脚之侧面形成槽，且使具有接触部之前端部侧自槽之部分折曲。将探针接脚之前端形成为尖顶状，并制成接触部。将较探针接脚之槽更后端部侧与连接器之连接端子接合，使得探针接脚之前端部侧自槽之部分向具有晶圆之下侧折曲。使探针接脚之接触部与晶圆接触，以检测晶圆之电气特性。

主权项

一种探针接脚，其系用以与被检测体接触而检测被检测体之电气特性者，且于侧面具有槽；具有与被检测体接触之接触部之前端部侧自上述槽之部分折曲；于经过折曲之上述前端部侧之侧面，形成有成为上述接触部之锥状顶部；以将较上述槽更后端部侧保持水平时，由铅垂线等分上述顶部之内角之方式，形成上述顶部。