带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉

摘要

本发明涉及硅单晶制备装置，旨在提供一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉。该生长炉包括加热器、石英坩埚和保温装置，石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置；在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套；所述水冷夹套是中空的夹套设备，水冷夹套内部为冷却水流动的通道，并设进水管和出水管。本发明通过水冷夹套对单晶棒刚生长出来的高温部分进行冷却，巨大的温差使得单晶棒散热很快，单晶棒生长速度可提高近一倍。由于单晶棒生长界面的热量可以快速通过单晶棒导走，既大大降低了加热器的功耗，还能减少晶体的微缺陷。如果使用的冷却水温度更低，降温效果还会更好。

主权项

1、一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉，包括加热器、石英坩埚和保温装置，石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置；其特征在于，在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套；所述水冷夹套是中空的夹套设备，水冷夹套内部为冷却水流动的通道，并设进水管和出水管。