电浆滤筛装置及其电浆设备

摘要

一种电浆滤筛装置，其包括：一滤筛结构体，其具有复数个孔洞，其中该滤筛结构体包含：导体结构与绝缘结构，以及一控制电路系统，其系耦接于该导体结构；更含有旁侧磁力模组。藉由应用上述电浆滤筛装置于电浆反应室(Plasma Chamber)设备中，电浆滤筛装置可对离子(含质子)与电子之数量与能量的控制与筛选，以达到制程的最佳化。

主权项

一种电浆滤筛装置，包括：一滤筛结构体，其具有复数个孔洞，其中该滤筛结构体包含：一导体结构与一绝缘结构；以及一控制电路系统，其系耦接于该导体结构。