| 摘要 |
1. Система для определения положения гибких микромеханических элементов, состоящая из источника света, оптического отражательного или оптического преломляющего элемента, системы, состоящей не менее чем из двух микромеханических элементов с отражательной поверхностью, и по крайней мере одного фоторегистрирующего комплекса, отличающаяся тем, что источник света неподвижен, а оптический отражательный или оптический преломляющий элемент способен поступательно двигаться и/или вращаться, при этом взаимное расположение источника света, оптического отражательного или оптического преломляющего элемента, системы микромеханических элементов и фоторегистрирующего комплекса подобрано так, что при движении оптического элемента луч света, идущий от источника света, после прохождения оптического элемента попадает и отражается от отражательной поверхности каждого микромеханического элемента на фоточувствительную поверхность фоторегистрирующего комплекса. ! 2. Система для определения положения гибких микромеханических элементов по п.1, отличающаяся тем, что в качестве оптического отражательного элемента система содержит плоское зеркало, способное вращаться относительно двух взаимно перпендикулярных неподвижных осей, лежащих в плоскости зеркала, одна из которых до начала определения положения микромеханических элементов перпендикулярна направлению луча света, идущего от источника света, микромеханические элементы находятся в одной плоскости и параллельны друг другу в неизогнутом состоянии, а их направление перпендикулярно направлению луча света, идущего от источника света, причем фоторегистрирующий к� |
