| 摘要 |
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее соосно расположенные расходуемый катод с отверстием для подачи рабочего газа, полый анод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, повышения производительности и упрощения конструкции, в катоде со стороны рабочего торца выполнено углубление в форме усеченного конуса, большее основание которого обращено в сторону подложкодержателя, а высота усеченного конуса больше радиуса этого основания, причем меньшее основание конуса соединено с отверстием подачи рабочего газа, площадь сечения которого So определена соотношением ! ! где Qv - объемный расход рабочего газа, м3/с; ! - скорость звука газа при рабочем давлении внутри конусного углубления катода, м/с.
|
