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<p>Durch Ausführen eines zweistufigen Ansatzes zum Vorhersagen einer Qualitätsverteilung während der Herstellung von Halbleiterbauelementen kann eine besserte Flexibilität und Effizienz erreicht werden. Die zweistufige Lösung korreliert zunächst elektrische Eigenschaften auf der Grundlage von Messdaten, etwa von linieninternen Messdaten, und in einem zweiten Schritt wird eine geeignete Verteilung für die elektrischen Eigenschaften erstellt, wodurch modellierte Scheibensortierungsdaten erhalten werden, die dann verwendet werden können, um eine Qualitätsverteilung der betrachteten Halbleiterbauelemente vorherzusagen.</p> |
