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Die Erfindung betrifft eine interferometrische Anordnung (300) zum Vermessen eines Messobjektes (280), mit Mitteln zum Erzeugen eines Messstrahlengangs (205) mit auf das Messobjekt (280) gerichteten Messstrahlen, mit Mitteln zum Erzeugen eines Referenzstrahlengangs (70) mit auf ein Referenzelement (75) gerichteten Referenzstrahlen, mit Stellmitteln (150) zum Einstellen eines Gangunterschieds zwischen den Messstrahlen und den Referenzstrahlen und mit einem Detektor (90) zum Aufnehmen von Bildern der Überlagerung der vom Messobjekt (280) reflektierten Messstrahlen und der Referenzstrahlen. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass Synchronisationsmi50) derart ansteuern, dass der Gangunterschied zwischen den Messstrahlen und den Referenzstrahlen synchron zu den vom Detektor (90) aufgenommenen Bildern eingestellt wird. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Einstellen eines Gangunterschieds.
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